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홈 > 취급품목 > 저진공게이지 |
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| 1.0E-4~1500Torr |
| AR,O2,He등 Bulkgas사용가 |
| Analoge Out Put , Relay Set Point |
| Pirani+Manometer Sensor |
| RS485 Option |
| NW16 , NW25 ,1/4 |
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KP380 Smart ATM Gauge
피라니+마노메터 게이지 일체형 모듈타입 - Pirani+Manometer Type
1. KP380은 Smart ATM Manometer Gauge Type으로 헬륨,수소 Gas등의 Mass 발열에 의해
생길수 있는 감도저하의 영향을 받지 않는 ATM Smart 진공게이지
2. Sensor Type : Pirani & Manometer 채택
Manometer센서는 1,500~5Torr 작동 , 5Torr~1x10-4Torr 구간에서는 Pirani센스작동
3. 5~1500Torr 구간에서는 안정적이고 정확한 리딩값을 읽을수 있다.
4. 5Torr 이상부터 대류에의해 가스의 영향을 안받으며 포지션에 상관없이 장착 가능
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