KVC900 Multi
Ionzation Vacuum Ion Gauge (Hot Cathode Gauge)
고진공게이지 - Ionization
Type
1. KVC900은 고진공 2개와 저진공 2개 사용하며 고진공
Sensor는 ION Gauge를 사용하며
저진공
Sensor는 SHIM Sensor를 사용한다.
2. ION
Gauge는 고진공 Gauge이며 원자나 분자에 에너지를 가하면 전자를 잃고 전하를 띠게 된다.
이전하를 띤
분자들이 다시 중성이 되기 위해 전자를 얻을때 진공도가 측정된다.
3. ION
Sensor는 Filament + Ion Collector + Grid로 구성되며 열 필라멘터에 방출된 전자는 가열된
Filament에서 나온 음이온들이 Grid로 끌여 가속화 되어 분자와의 충돌 가능성이 커진다.
충돌하면서
생긴 양으로 이온화된 분자들이 Ion-Collector로 끌리게 되고 Tube내의 압력에 비례하여
이온전류가
형성된다. 이러한 이온전류를 통하여 비교적 정확한 진공도를 측정할수 있다.
4. 하지만 유리로
되어 있어 충격에 약하며 깨질 가능성이 커다.
5. KVC900 Range :
1000Torr~1x10-10Torr까지 이며 1000Torr ~ 1x10-3Torr까지는
SHIM
센서가 리딩하며 이후 1x10-3Torr ~ 1x10-10Torr까지는 Ion Sensor가 리딩한다.
6. Set
Point 기능 , 통신기능 , Remote기능은 Option 사항이다.
1)
Controller
- Max
2Channel ION & 2Channel은 SHIM Gauge , Green LED
- Unit : Torr & Pascal
- Standard
: Degas& Analog Output
-
Emission Current : 0.1 , 1 , 10mA
-
Input Power : 220Vac , 250Watts , 50 or 60 Hz
-
Optional : 1) Relay 6 Set Point
2) RS232 , 485 Interface
3) Addition IG / Remote I/O
2) B-A
Ionization Vacuum Gauge
-
Pressure Range : 1) Maximum Measurement Limited 1.0E-10Torr
2) Minimum Measurement Limited 1.0E-3Torr
-
Cable Length : 3m (10ft.) ~ 60m (200ft.)
-
Analog OutPut : 1V/decade , 0~7Vdc
3) Low
Vacuum Gauge : SHIM Gauge
- SHIM
Gauge Pressure Range : 1000Torr ~
1x10-3Torr
-
Analog OutPut : 1V/decade , 0~6Vdc
-
Cable Length : 3m (표준) , 50m (최대)
- Fitting :
1/8" NPT , NW16 , NW25 , 15m O.D
1.33"CF , 2,75CF , 1/4" Female VCR
- 1Torr 이상에서는 수평으로 설치해야 정확한 진공값을 읽을수 있다.
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