홈 > 취급품목 > 고진공게이지
KVC5000 Penning Vacuum Gauge (Cold Cathode Gauge)
Penning Vaccum Gauge
Analog Output : 1V/decade, 0 ~ 7VDC
Maximum Measurement Limit : < 1.0E-08Torr
MinimumMeasurement Limit : 1.0E-03Torr
Option:Interface Module - RS232 or RS422/485
Fitting : 1/8NPT, NW16KF, NW25KF
KVC5000 Penning Vacuum Gauge (Cold Cathode Gauge) 

고진공게이지 (Penning Sensor Type)
 
1. 고진공 1개와 저진공 2개 사용하며 고진공 Sensor는 Penning Gauge를 사용하며
    저진공 Sensor는 SHIM Sensor를 사용한다.
2. Penning Gauge는 고진공 Gauge인데 Free Electron (자유전자)를 이용하여 진공도를 측정한다.
    2000V의 전압은 게이지 튜브에 있는 전자들은 +전하를 띤 양극쪽으로 끌리게 하여
    자기장은 전자들을 나선형으로 진행게 한다.
    이온을 만드는 전자와 분자의 충돌 가능성을 증가시켜 글로우 방전이 일어난다.
3. 이온게이지에 비해 정확도는 떨어지나 세척이 가능하며 수명이 긴장점이 있다.
4. SHIM Sensor가 ATM ~ 1X10-3Torr 까지 진공도를 나타내며 이후 1x10-3 ~ 1x10-8는
    Penning Sensor가 진공도 값을 나타낸다.
5. Penning Sensor Cable 길이는 5m가 표준이며 User의 요청에 따라 60m까지 제작이 가능하다.
6. Set Point 기능 , 통신기능은 Option 사항이다.    
 
 
1) Controller
 
    - Max 1Channel PG & 2Channel은 SHIM Gauge , Green LED
    - Unit : Torr & Pascal
    - Standard :  Degas& Analog Output  
    - Input Power : 220Vac , 250Watts , 50 or 60 Hz
    - Optional : 1) Relay 6 Set Point
                      2) RS232 , 485 Interface
                      3) ModBus
 
2) Penning Vacuum Gauge
 
    - Pressure Range : 1) Maximum Measurement Limited 1.0E-8Torr
                               2) Minimum Measurement Limited 1.0E-3Torr
    - Cable Length : 5m (10ft.) ~ 60m (200ft.)
    - Analog OutPut : 1V/decade , -2~-8Vdc
    - 연결구 : NW25 KF
 
3) Low Vacuum Gauge : SHIM Gauge
 
    - SHIM Gauge Pressure Range : 1000Torr ~ 1x10-3Torr
    - Analog OutPut : 1V/decade , 0~6Vdc
    - Cable Length : 3m (표준) , 50m (최대)
    - Fitting : 1/8" NPT , NW16 , NW25 , 15m O.D
                   1.33"CF , 2,75CF , 1/4" Female VCR    
    - 1Torr 이상에서는 수평으로 설치해야 정확한 진공값을 읽을수 있다
KPM550 Penning Gauge Module
KVC900 Multi Ionization Vacuum ION Gauger (Hot Cathode Gauge)