KPM550 Penning Gauge Module
고진공게이지 - Penning Type
1. 고진공 1개와 저진공 2개 사용하며 고진공 Sensor는 Penning Gauge를 사용하며
저진공 Sensor는 SHIM Sensor를 사용한다.
2. Penning Gauge는 고진공 Gauge인데 Free Electron (자유전자)를 이용하여 진공도를 측정한다.
2000V의 전압은 게이지 튜브에 있는 전자들은 +전하를 띤 양극쪽으로 끌리게 하여
자기장은 전자들을 나선형으로 진행게 한다.
이온을 만드는 전자와 분자의 충돌 가능성을 증가시켜 글로우 방전이 일어난다.
3. 이온게이지에 비해 정확도는 떨어지나 세척이 가능하며 수명이 긴장점이 있다.
4. 컴퓨터와 연동해서 안정적으로 데이터 값을 읽을수 있다.
1) Penning Gauge
- Mini Display Window
- Extermal Switching On/Off With Low Vacuum Gauge
- Pressure Range : 1) Maximum Measurement Limited 1.0E-8Torr
2) Minimum Measurement Limited 1.0E-3Torr
- Input Power : +24Vdc250mA
- Analog OutPut : DC 0~6V
- 표준 : 2-Set Point
- 선택 : RS485 , available MODEBUS RTU
- 연결구 : NW25 KF
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