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KPM560 Full Range Penning Module Gague
Cold Cathode
Mems Pirani Sensor
1.0E-8Torr to 100Torr
Interface
RS485 ASCⅡ
RS485 ModBus RTU
Compact Desgin 으로 설치 하기가 편리하고 저 진공대역을 측정하는 Mens Pirani Sensor가 내구성이

좋아 설치 비용 및 유지 관리비를 절감 할 수 있으며 출력을 활용 하여 다양한 System과 Pressure를 제어한다.





Key Feature

-The series KPM560 Full Range Penning Midule Vacuum Gague의 특징은 Compact Desgin과 정확성, 안정성,

 신뢰성, 재현성, 내구성이 뛰어나 진공공정의 품질 및 생산성 도움을 줄 것 입니다.

-진공대역의 측정을 Mens Priani Sensor를 사용하여 정밀한 측정이 가능 하며 또한 Sensor의 내구성이 좋아

 유지관리 비용을 최소화 하였습니다.

-사용시 Mens Pirani Sensor 교체에 불편을 최소화 하였으며 교체 하기가 편리 합니다.

 









 

 

KIM800 Mini ION Vacuum Module Gauge
KPM550 Penning Gauge Module