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FPM2 PTFE,PVC Panel Mount 면적식 유량계 (PTFE,PVC+Pyrex Glass)
Chemical 및 부식성 Gas사용
Liquid : 3L ~ 20L/Min
PTFE,PVC
정확도 : ±3.0% Full Scale
연결구: 1/4
Flow Alarm Sensor 부착가능
FPM5 PTFE,PVC Panel Mount 면적식 유량계 (PTFE,PVC+Pyrex Glass)
Liquid : 10~ 50L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
Body재질 : PTFE,PVC
연결구: 3/8
압력 : 5kg/cm2
Flow Alarm Sensor 부착가능
FPM6 PTFE,PVC Panel Mount 면적식 유량계 (PTFE,PVC+Pyrex Glass)
Liquid : 50~100L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
Body재질 : PTFE,PVC
연결구: 3/4
각종 Chemical에 적합한 내화학성.
Flow Alarm Sensor 부착가능
FPM7 Panel Mount 면적식 유량계 (PFA+Pylex Glass)
AIR : 100mL/Min ~50L
Liquid : 20mL ~ 2L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
연결구: 1/8,1/4
Body재질 : PFA
PFA Tube 연결 가능 Connection.
FPM8 Panel Mount 면적식 유량계 (PFA+PFA Taper Tube)
AIR : 500mL/Min ~50L
Liquid : 50mL ~ 2L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
Body재질 : PFA ,Taper Tube:PFA
연결구: 1/8
압력 : 3kg/cm2
FPM9 Panel Mount 면적식 유량계 (PFA+PFA Taper Tube)
PFA+PFA Taper Tube
Liquid : 50L ~ 100L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
Body재질 : PFA
연결구: 3/8
Flow Alarm Sensor 부착가능
IF10 / IF20 면적식 유량계
AIR : 100mL ~ 50LPM
Liquid : 20mL ~ 2L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
Body재질 : SUS316
연결구: 1/4PT
Flow Alarm Sensor 부착가능
IF35 면적식 유량계
Liquid : Min 3L ~ 7L
정확도 : ±5.0% Full Scale
Body재질 : SUS316
연결구: 1/4
압력 : 7kg/cm2
온도 : 70℃
IF45 면적식 유량계
AIR : 50L/Min ~600L/
Liquid : 10L ~ 30L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
연결구: 3/8
Body재질 : SUS316
압력 : 7kg/cm2
IF50 면적식 유량계
AIR : 50L/Min ~500L/
Liquid : 5L ~ 20L/Min
정확도 : ±3.0% Full Scale
Body재질 : SUS316
연결구: 3/8
Flow Alarm Sensor 부착가능
수지베어링(PEEK,PVDF,UHMW-PE,세라믹)
외륜:PEEK,PVDF,U-PE,세라
내륜:PEEK,PVDF,U-PE,세라믹)
Retainer:U-PE,PDVF,PEEK
Ball재질:Glass,SIC,Si3N4,ZrO3
Peek:내약품성,내열성
UHMW-PE:DI-Water,저농도케미컬
PTFE Insulator
재질: PTFE
사각(Square)Type 또는 원형(Circle)Type 선택가능
대형사이즈 PTFE 융착방식가능
내열성이 높고 내화학성 안정
Isolarator,절연판
반도체, LCD CVD/Etcher공정
    
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